真空组件：疏水阀概述

疏水阀广泛用于超高真空（或高真空）系统。疏水阀的功能类似于挡板。它安装在泵入口和真空室之间。它不仅可以有效地捕获来自蒸汽流量泵的回流蒸汽和部分裂解物，而且还可以从真空室中提取蒸汽。配备各种捕集阱的超高真空系统经过彻底的高温烘烤和脱气后，可获得10-8Pa至10-10Pa（或更高）的超高真空。真空技术中常用的捕集阱是铜箔捕集阱，分子筛吸附捕集阱，液氮冷阱，钛升华捕集阱和阻塞机械泵油的前级吸附捕集阱。